ALD系统ALD-800X-4-PE

· 电源：AC 220V 50/60HZ

· 功率：3.8KW

· 所有ALD参数都通过6英寸触摸屏设置，包括气体注入时间，惰性气体的流量、温度和样品台旋转速度等

· ALD阀的脉冲时间和循环可以控制在0.5秒级别的精度

· 控制载气通道气体流量的质量流量计精度为±1.5%F.S

· 可实时显示腔体内部真空度

· 系统配置4个高频ALD阀门

· 最短控制开关时间：0.5秒

· 可实现对气相源和固相源气化的精确控制

· 阀门最高耐温：232℃

整个系统的气路连接示意图如下：

· 第一路ALD阀门连接的是工作气体，前端通过精密调节针阀控制；

· 第二路ALD阀门连接的是备用气体，前端通过精密调节针阀控制；

· 第三路ALD阀门连接的是固相源1；

· 第四路ALD阀门连接的是固相源2；

· 另外系统配置有一路载气，通过一个4通变径分别连接到4个ALD阀门的载气端。载气通过质量流量控制器控制，流量计量程：1-500SCCM

· 工作环境温度：5-45℃

· 最大耐压：3*106Pa

· 准确度：±1.5%F.S

系统配置有两套气液混合罐，用于固相源的气化

· 混合罐容积：150ml (150ml,300ml,600ml,1000ml可选)

· 混合罐材质：316L

· 最大压力：0.15MPa

· 压力表范围：-0.1MPa—0.15MPa

· 最高加热温度：200℃

· 控温精度：±1℃，可实现28段程序PID控温

· 从气液混合罐到气体分散喷头的气体连接管路外面都缠绕有管道加热带，用于给管道保温，防止固相源由于温度过低冷凝。

· 管道加热带最高加热温度：200℃

· 材料：铝合金和不锈钢

· 喷头直径：4英寸；喷孔直径：0.5mm

· φ6.35的通气接口用于连接ALD阀

· 特殊的流道设计，可使气体/蒸汽均匀的传递和分散到沉积腔体中

· 4英寸可旋转加热的基片样品台

· 转速：1-5RPM

· 温度：最高温度700℃（＜1h）；长期使用温度：500℃

· 控温精度：±5℃，可实现28段程序PID控温；

· 可沉积基片最大尺寸：φ100mm（φ4"）

· 本系统可选配加上PE功能，利用射频电源产生的交变磁场，使反应气体产生高密度等离子体，从而促进薄膜的沉积和生长。

· 输出功率：5-100W

· 射频频率：13.56HZ

· 反射功率：最大20W

· 匹配：自动

· 射频接口:50 Ω, N-type
· 噪音:<50 dB
· 冷却:风冷

· 石英腔室尺寸：约165 mm 外径. X 150 mm 内径 x 250 mm高度

· 304不锈钢法兰，确保腔体真空度：10-5 torr（分子泵系统），10-2Torr(机械泵）

设备中标配不含真空泵，建议可选购真空泵或者干泵用于CVD/ALD实验

· 设备可配置一套气体探测器在此系统中，为固定式，安装在固定支架上面，可以实时监测设备气体的泄漏情况

· 监测范围：0-100ppm

· 工作温度：-20℃——60℃

· 报警点设置：气体报警器设置有两个报警，第一级的报警点10ppm，一旦探测到泄露气体浓度达到此值时，

   气体报警器将发出蜂鸣报警声，提醒客户检查漏气点。第二级的报警点为20ppm，一旦探测到泄露气体浓度到达此值时，

   系统将自动关闭气体进气阀。

ALD系统：700*600*1400mm（长*宽*高）

射频电源：600*600*700mm（长*宽*高）

约115KG

一年质保期，终身维护（不含石英管、密封圈等易损件）

·此产品已通过CE认证

  证书编号：M.2021.206.C67994

·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

· 腔室内压力不能超过0.02Mpa

· 气瓶请安装减压阀，减压阀端压力要≤0.02MPa

· 样品台的最高升温速率请不要超过10度/min，过高的升温速率会缩短加热元件的使用寿命

· 本设备不提倡、不建议使用易燃易爆、有毒有害气体，如果客户工艺原因确实需要使用，请客户自行做好相关防护和防爆措施。

   由于使用易燃易爆和有毒气体 而造成的相关问题，本公司概不负责。

· 使用前请确保气体探测器使用正常